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第282章 华创真正的底牌[2 / 3]

这绝非简单的设备仿制,而是彻底吃透光学原理、精密机械控制、激光光源调校、光刻工艺适配的全套底层技术,是真正意义上的国产自主可控!

梁景徽深吸一口气,压下心中的激动,继续汇报后续规划,眼神无比坚定:

“而且我们团队在干式机型攻坚过程中,彻底吃透了193nmArF光源的全套技术逻辑。基于现有技术积累,193nmArF光源浸润式光刻机的技术路径已经完全打通,核心难点全部攻克!”

他简单解释其中的技术跨度,让苏诚清晰知晓突破的含金量:

“干式机型是以空气为介质,是193nm光刻的基础版本。

而浸润式机型是在物镜与晶圆之间加入超纯水作为介质,利用水的高折射率压缩等效波长。

能大幅提升曝光分辨率,制程能力、精度上限、适配场景全面升级,是下一阶段高端制程的核心设备。

现在技术图纸、算法模型、工艺方案全部定稿,不存在任何技术盲区,只差整机装配与调试!

根据团队最新工期测算,整套干式光刻机量产生产线,浸润式光刻机整机研发调试。

全部工程预计今年年底可以全面完工落地,届时我们将拥有完整的193nm级别光刻机量产能力,彻底打破海外封锁!”

看似平淡的汇报,背后却是足以颠覆国内半导体格局,补强国家硬核短板的惊天成果。

苏诚低头看着密密麻麻的精准实测数据,每一组参数都印证着技术的真实性与成熟度,眼底终于泛起一抹深邃的亮色。

他早已知晓结局,此刻依旧心生感慨。

在智能机赛道横扫行业,万众瞩目之时。

华创真正的底牌,从来不是一台触屏手机,而是这不受任何人掣肘的硬核底层工业技术。

“辛苦了。”

苏诚抬眼,真诚郑重,带着对科研人员的敬重:

“这大半年,整个实验室通宵攻坚,日夜钻研,顶住了技术空白、设备匮乏、海外技术封锁的三重压力,扛下了最难的阶段,你们是华创真正的根基。”

梁景徽郑重颔首:“请苏总放心,我们绝不辜负这次技术突破!”

苏诚稍作停顿,随即针对性敲定后续研发节奏,决策果断:

“后续研发节奏,我们调整一下。

浸润式光刻机技术难度更高,

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