方案。
用一束高强度和高重复频率的雷射，照射在高速旋转的光源靶盘上，如此通过等离激元耦合态理论，雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态，从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。
不但绕过了海外的专利壁垒，还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。
有助于延长光源的寿命时间。
随著徐铭同众人，在具体实验上展开讨论，原本大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。
内心激动之下，毫不掩饰脸上浮现出的期待。
「关于光源靶盘的制造，需要覆盖特殊薄膜，可以拜托给材料院帮忙研发。」
「其余我没有任何意见。」
贺鹏涛全程认真听完徐铭的所有话，待相关任务安排全部讲完之后，率先开口提出自己的观点表明态度。
话音刚落。
旁边的丁顺安也未沉默，立刻接过话茬附和。
「我同意老贺的提议，交给材料院，会在很大程度上节省我们的时间。
「这样我们能更快进行验证。」
徐铭对光源靶盘的材料设计早有方案，从某种程度上来说制造困难性不算太大，无非是经历多次的失败。
本来他还想著亲自来负责光源靶盘的制造，但听完贺鹏涛和丁顺安两人的建议，顿时便觉得交给科学院旗下的材料院负责，倒也是项更加合适的办法，刚好他也能抽出时间和精力负责其他的。
虽说科学院整合的是国内的光机所资源，但如今国产光刻机专项项目，那毫无疑问属于当前重点中的重点。
其他研究所都要无条件配合。
就算到时候制造不顺利，他也能再过去指点。
思维快速运转下，徐铭没有任何迟疑，当即点头同意了这件事情。
「可以。」
「那么接下来大家各自开始准备吧，这次我们的核心挑战就是，在实验室组建毫米级的演示装置，将之变成能产生足够功率的极紫外光的实用光源。」
最后郑重说完这番话，也标志著上午这场讨论会，圆满结束落下尾声。
参加会议的每个人，可以说都是项目核心人员，因此才刚刚散会，便已经迫不及待返回工作岗位，著手开展自己被分配下来的工作。
徐铭作为此次专项的总设计师，在微电子装备总部这边也设立了办公室。
然就当他准备过去时，却
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