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第204章 喜报频传,芯片材料遥遥领先[6 / 6]

保险箱,拿出数瓶约摸550毫升罐装可乐大小的密封罐子道:

“1号ArF光刻胶,曝光波长:193nmIMM,技术节点及应用:N40nm-7nmPTDL/S,工艺能力CD:0.063um,工艺能力THK:0.16-0.24um。”

“翻译一下。”

虽然陈星是重生者,又带有国产之光系统,但这并不代表他是万能的,光刻胶他可没学过。

朱明月闻言,淡淡一笑解释道:“曝光波长193纳米,说明它支持193深紫外光,也就是DUV光刻机的曝光,技术节点及应用N40纳米-7纳米PTDL/S,可用于40纳米到7纳米芯片的生产。”

“工艺能力CD:0.063um是分辨率,而工艺能力THK:0.16-0.24um则是涂抹厚度。”

陈星理解能力很强,在听了讲解以后,立马抓住重点道:“也就是说,这是一款足以支持7纳米芯片生产使用的光刻胶?”

“是的。”

朱明月点了点头,继续抛出这款光刻胶的底细道:“因为考虑到我们没有EUV光源,所以这款光刻胶曝光波长设计在193。”

“如果要用一句话概括,那就是这款光刻胶是我专门为多重曝光技术而设计的产品。”

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